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SuperViewW系列白光干涉儀三維表面測(cè)量系統(tǒng)以白光干涉技術(shù)為原理結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

SuperViewW白光干涉三維表面測(cè)量?jī)x以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。

SuperViewW非接觸式3D白光干涉儀基于白光干涉原理，可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

SuperViewW白光干涉3D材料表面輪廓儀采用白光干涉技術(shù)，結(jié)合具有抗噪性能的3D重建算法，真實(shí)還原樣品的每一個(gè)細(xì)節(jié)?？梢酝ㄟ^重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。

SuperViewW白光干涉微觀三維形貌測(cè)量?jī)x測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短，確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。

SuperViewW納米級(jí)微觀三維形貌3D白光干涉儀主要用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量。它能以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。